租赁市场的现状如何 ASML苦求激光粗加工专利, 裁汰物体粘附的智力

发布日期：2025-02-01 08:01    点击次数：63

金融界2025年1月30日音书，国度学问产权局信息知晓，ASML控股股份有限公司苦求一项名为“激光粗加工：工程化突节顶部的简易度”的专利，公开号CN119376192A，苦求日历为2020年2月。

专利摘抄知晓，公开了用于在光刻历程技巧减少粘附的设施、计较机设施家具和建立。减少物体与用于在光刻历程中撑抓物体的改性名义的粘附的示例性设施不错包括：范畴光源将光寄递到原生名义，由此引开端生名义的至少一部分的烧蚀以增多原生名义的简易度，从而造成改性名义。增多的简易度裁汰了物体粘附到改性名义的智力。

本文源自：金融界